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本发明公开了一种基板搬送机器人控制方法、装置、系统、设备和介质,由于该方法中根据接收到的转产指令中携带的转产后的目标基板的目标尺寸、以及预先保存的尺寸与间距的对应关系,确定基板搬送机器人搬送目标基板时机械手指间的第一目标间距;根据目标尺寸、以及预先保存的转产前的基准基板的基准尺寸,以及预设的对齐方式,确定基板搬送机器人搬送基板的距离变动量;根据距离变动量以及基板搬送机器人搬送基准基板的基准示教数据,确定出基板搬送机器人搬送所述目标基板的目标示教数据,从而可以实现自动对基板搬送机器人进行调整,节约
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112476431 B
(45)授权公告日 2022.03.04
(21)申请号 202011204211.9 (56)对比文件
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