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一种亚稳相稀土镍氧化物薄膜的金属有机分解生长方法.pdfVIP

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  • 2023-05-31 发布于四川
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一种亚稳相稀土镍氧化物薄膜的金属有机分解生长方法.pdf

    一种亚稳相稀土镍氧化物薄膜的金属有机分解生长方法。其特征在于，使用羟基酸稀土、羟基酸镍等有机酸盐溶解于单苯环芳香族有机溶剂中作为前驱体，旋涂于衬底上并在高氧压下退火，从而实现具有亚稳相结构和明显金属绝缘体相变特性的亚稳相稀土镍基氧化物薄膜材料的非真空生长。可通过前驱体碳支链官能团碳原子数、空间构型、溶质溶剂比例等调节前驱体粘度，从而控制薄膜的沉积厚度、生长均匀度等生长特性。该方法操作简便成本低廉，且可以实现具有不同稀土元素的亚稳相稀土镍基氧化物薄膜材料的大尺寸、大厚度、高均匀性生长。所制备薄膜具

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112501691 B (45)授权公告日 2021.12.03 (21)申请号 202011144600.7 C30B 1/12 (2006.01) (22)申请日 2

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