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根据实施方式，提供一种具有第1吸台及第2吸台的衬底贴合装置。第1吸台吸附第1衬底。第2吸台与第1衬底对向配置。第2吸台吸附第2衬底。第1吸台具有第1台座、多个第1圆筒状部件、及多个第1驱动机构。多个第1驱动机构相互独立地驱动多个第1圆筒状部件。进而，衬底贴合装置具有相互独立地控制多个第1圆筒状部件中的空间的压力状态的第1压力控制机构。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112509938 A
(43)申请公布日
2021.03.16
(21)申请号 20201
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