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本发明公开了一种压铸抽芯用耐高温纳米多层自润滑涂层及制备方法，包括依次附着在压铸抽芯以外的结合层、过渡层、梯度层和耐高温自润滑层，结合层为纯SiB层，过渡层为SiBN层，梯度层为SiTiC‑DLC涂层，耐高温自润滑层为SiTiC‑DLC和BTiC‑DLC构成的SiTiC‑DLC/BTiC‑DLC纳米多层膜，其制备方法是采用射频磁控溅射法制备；涂层从结构上为多种元素掺杂的类金刚石涂层的组合，具有梯度结构，同时成分上具有渐变特点，使涂层具有良好的韧性和较低的应力。此外由于硅元素和硼元素以及钛的复合掺
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112501571 B
(45)授权公告日 2021.04.27
(21)申请号 202110157737.4 (56)对比文件
(22)申请日 2021.02.05
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