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本申请提供一种差分电容麦克风及其制作方法，属于硅麦克风领域，该差分电容麦克风包括：振动膜，振动膜包括层叠设置的振膜层和导电层；振膜层的材质为聚合物；导电层的电导率大于振膜层的电导率。本申请提供的差分电容麦克风基于振动膜采用了聚合物材质，由于聚合物可以应对声能产生形变并且能承受长时间的变形而不发生应力松弛，因此，可以降低差分电容麦克风在低频阶段的噪音，具有良好的低频降噪性能，提高差分电容麦克风的灵敏度，降低误差。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112492500 A
(43)申请公布日 2021.03.12
(21)申请号 202011359976.X
(22)申请日 2020.11.27
(71)申请人 西人马联合测控（泉州）科技有限公
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