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- 2023-05-31 发布于四川
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本发明属于机器人技术领域，涉及一种防溅水的硅片湿制程搬运机器人，包括移动机构以及位于所述移动机构上的硅片夹取机构和水箱，所述水箱向上开口且开口处设有遮挡组件，所述遮挡组件包括一对夹紧块、驱动所述夹紧块互相靠近的驱动机构以及用所述夹紧块拉出以遮挡所述开口的密封罩。本搬运机器人在移动的时候能够利用遮挡组件将水箱的开口遮住，以免水箱内的液体在刹车、转向、原地启动引起的惯性力作用下溅出，避免了污染环境和使硅片接触空气的风险。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115799156 A
(43)申请公布日 2023.03.14
(21)申请号 202211636802.2
(22)申请日 2022.12.15
(71)申请人 友上智能科技（苏州）有限公司
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