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基板处理装置以及基板处理方法.pdfVIP

基板处理装置以及基板处理方法.pdf

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    本发明提供一种不需要基准图像也能够判定基板是否被正常地保持的基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具有：保持部，用于保持基板；拍摄部，用于在包括被保持的基板的外缘部的拍摄范围内对基板的多个部位进行拍摄，并且输出基板的多个图像数据；提取部，用于从多个图像数据之间的差分图像提取基板的外缘部；以及判定部，用于基于差分图像中的基板的外缘部，判定基板的保持状态。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112509940 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202010840506.9 (22)申请日 2020.08.19 (30)优先权数据

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