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本发明公开一种可控且易于量产化的高分子量且窄分布PHS树脂及其制备方法与应用。本发明提供的PHS树脂的制备方法,包括如下步骤:将式(I)所示化合物单体滴加至反应体系中进行活性阴离子聚合反应,再经脱保护反应,得到PHS树脂。本发明还提供由所述制备方法得到的PHS树脂。本发明还提供一种抗蚀剂,包括基础聚合物;所述基础聚合物包括所述的PHS树脂。本发明采取活性阴离子聚合方式,并采取滴加方式投加单体,因而反应过程可控,易于工业化生产,同时所得PHS树脂的分子量分布更窄。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115260348 A
(43)申请公布日 2022.11.01
(21)申请号 202211205713.2 G03F 7/004 (2006.01)
(22)申请日 2022.09.
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