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本发明提供一种具有POI结构的兰姆波谐振器及其制造方法。该谐振器包括：包含高声速衬底及在该衬底上的低声速介质层的至少一层反射层、在与该衬底相对的一侧上与该介质层键合在一起的压电层、以及在该压电层上的电极。其制造方法包括：提供压电层，在该压电层上形成IDT电极；提供衬底，在该衬底上沉积介质层；以及将介质层和压电层进行低温键合。本发明激发兰姆波S0模式，实现了高频高带宽低插损兰姆波谐振器，同时满足高频、高机电耦合系数、高Q值、低TCF值、无杂散等多方面的设计要求。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112511128 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202011374849.7
(22)申请日 2020.11.30
(71)申请人 广东广纳芯科技有限公司
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