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本发明涉及一种用于确定用于激光加工系统(100)的加工头(101)与工件之间(1)的距离的测量装置，加工头(101)设置用于借助激光束(10)加工工件(1)。测量设备包括一个光学相干断层仪(120)，光学相干断层仪设置用于测量加工头(101)和工件(1)之间的距离，其中，由测量光源在光学相干断层仪(120)中产生并从工件(1)反射的测量光(13)与具有两个或更多的参考级的参考臂(200，300)中反射的测量光干涉。两个或更多的参考级包括第一参考级(210)，第一参考级设置成，在第一参考级(210
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112513562 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 201980050647.6 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司
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