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- 2023-05-31 发布于四川
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本发明公开了一种基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片。该保偏分色片以石英为基底，Ta2O5和SiO2分别作为高、低折射率镀膜材料，光线22.5°倾斜入射。采用离子束溅射薄膜沉积工艺，基片的一侧镀制保偏分色膜层，实现光谱分色控制以及保偏控制；基片的另一侧镀制应力匹配的增透膜层，在保证保偏分色片分色性能及保偏性能的同时，抵消主镀膜面的部分应力值，减小主镀膜表面的曲率半径，实现保偏分色片面形的控制。其应用于量子通信实验中，具有分色性能高效，保偏性能优异，面形可控等特点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 107664781 A
(43)申请公布日
2018.02.06
(21)申请号 20171
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