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本发明将由致动器进行的拾取和放置的生产间隔时间缩短。在致动器的外壳内设置有在从轴的中空部吸引空气时成为空气的通路的空气通路。另外,在空气通路设置有:吸引阀,其经由空气通路而从轴的中空部吸引空气;以及吸附检测传感器,其用于检测工件吸附在轴的前端部的情况。并且,在外壳内,空气通路配置于隔着轴而与使该轴沿其轴向移动的直动马达相反一侧的位置。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112514550 B
(45)授权公告日 2022.05.31
(21)申请号 201980050913.5 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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