- 1、本文档共23页,其中可免费阅读22页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请公开了一种半导体器件及其制造方法。该制造方法包括在衬底的第一阱区上形成第一栅叠层;在衬底的第二阱区上形成第二栅叠层;采用光刻胶掩膜遮挡第二阱区并以第一栅叠层作为硬掩膜,在第一阱区中形成第二掺杂类型的第一源区和第一漏区;以及去除光刻胶掩膜,进行普注以在第二阱区中形成第一掺杂类型的第二源区和第二漏区,在形成第二源区和第二漏区的步骤中,第一源区和第一漏区的第二掺杂类型的掺杂剂复合第一掺杂类型的掺杂剂,第一源区和第一漏区的等效掺杂剂维持为第二掺杂类型。该制造方法在形成第二源区和第二漏区时可以省去附
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112509981 A
(43)申请公布日
2021.03.16
(21)申请号 20191
您可能关注的文档
- 信息处理方法及装置、设备、系统.pdf
- 用户设备及其新无线车到设备通信的方法.pdf
- 多结构参考信号.pdf
- 细胞检查装置和细胞检查方法.pdf
- 综合产能建模系统.pdf
- 利用交叉极化天线的使用DMRS的信道估计方法.pdf
- 基于高通量测序检测同源序列的方法和装置.pdf
- 用户装置、基站装置以及测量方法.pdf
- 用于利用改进的高度计算对感兴趣的人类对象进行检测、跟踪和计数的系统和方法.pdf
- 具有薄膜加热构件的电子汽化装置.pdf
- 两单REITs上市并触发交易提示公告.docx
- 创新成长、困境反转、AI与三条主线,3月业绩与估值权重提升.docx
- 环保行业推进降碳减污扩绿增长,政府工作报告首提零碳工厂、再生材料.docx
- 建筑装饰行业低空振翅,帷幕正启.docx
- 雷赛智能运动控制老牌王者,机器人电机风正时济.docx
- 电力设备与新能源行业“AIDC系列报告”:关注电源与供配电系统新趋势.docx
- 公用事业行业二月行业动态报告:能源工作指导意见发布,新政稳定绿电电价预期.docx
- 美的集团全球暖通空调龙头更进一步,业务多元化加快.docx
- 明月镜片国产镜片龙头,近视防控、智能眼镜赛道高景气.docx
- 宏观从预算报告看2025年的地方财政.docx
文档评论(0)