一种高附着耐电镀感光干膜抗蚀剂.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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一种高附着耐电镀感光干膜抗蚀剂.pdf

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本发明公开了一种高附着耐电镀感光干膜抗蚀剂，组分包括45~65重量份的碱可溶性共聚物树脂、30~50重量份的光聚合单体、0.1~4.0重量份光引发剂、0.1~5.0重量份的其它添加剂；所述碱可溶性共聚物树脂是由结构通式为(Ⅰ)的第一单体，与结构通式为(Ⅱ)的第二单体、结构通式为(Ⅲ)的第三单体、结构通式为（IV)的第四单体共聚反应制得的。本发明所述的感光干膜抗蚀剂与现有技术相比，具有显影快、显影后分辨率高、在铜基板上具有较高的附着能力、显影液分散稳定性好且不出现凝聚物、干膜柔韧性优异、盖孔能力和

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112506005 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202011604881.X (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人浙江福斯特新材料研究院有限公司