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快门装置、光量控制方法、光刻装置及物品制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-31 发布于四川
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快门装置、光量控制方法、光刻装置及物品制造方法.pdf

    本发明涉及快门装置、光量控制方法、光刻装置及物品制造方法。为了将快门关闭驱动定时提前并抑制照度变动引起的累计光量控制精度的下降，在快门装置中具有：快门，其遮蔽来自光源的光或者使来自光源的光通过；测量单元，其对通过了所述快门的光的照度进行测量；以及控制单元，其基于在所述快门处于全开状态时由所述测量单元测量出的照度值和预先设定的设定累计光量来计算既定的测量时间，基于所述既定的测量时间的累计光量来计算开始所述快门的关闭驱动时的累计光量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112506007 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202010953490.2 (22)申请日 2020.09.11 (30)优先权数据 2019-1674

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