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晶圆评估方法、装置及可读存储介质.pdfVIP

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  • 2023-05-31 发布于四川
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晶圆评估方法、装置及可读存储介质.pdf

    本发明实施例提供一种晶圆评估方法、装置及可读存储介质，包括：获取晶圆图像；在晶圆图像中划分多个区域；按照相邻两个区域为一组，在多个区域中确定出多个区域组；计算区域组中的两个区域的粒子密度比；在计算出的所述粒子密度比大于预设门限的情况下，确定晶圆图像对应的晶圆为异常产品。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115798558 A (43)申请公布日 2023.03.14 (21)申请号 202211657812.4 (22)申请日 2022.12.22 (71)申请人 西安奕斯伟材料科技有限公司 地址

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