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一种电光晶体薄膜、制备方法及电子元器件.pdfVIP

一种电光晶体薄膜、制备方法及电子元器件.pdf

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    本申请公开一种电光晶体薄膜、制备方法及电子元器件，包括：在衬底层上制备隔离层；利用离子注入法和键合法，或者，利用键合法和研磨抛光法，在所述隔离层上制备功能薄膜层；其中，在采用键合法将所述隔离层与薄膜基体键合后，在所述薄膜基体内形成压应力，并且在所述隔离层内形成拉应力，进一步通过对薄膜基体和隔离层施加机械压应力或机械拉应力的方式，或者利用隔离层与薄膜基体自身的热膨胀系数，控制键合前后的温度，从而在隔离层与薄膜基体内形成互相牵制的压应力和拉应力，以实现提高隔离层与薄膜基体折射率差的目的，其制备方法简

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112490349 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202011348841.3 (51)Int.Cl.

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