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本发明提供一种防水MEMS麦克风,包括由金属外壳和PCB板形成的封装结构,在所述封装结构的内部的PCB板上设置有MEMS芯片,在所述PCB板上还设置有与所述MEMS芯片相对应的声孔,在所述封装结构的外部的PCB板上嵌设有与所述声孔相对应的防水结构,所述防水结构包括防水膜和PI层,其中,所述防水膜设置在所述PCB板与所述PI层之间。利用本发明,能够解决现有的防水MEMS麦克风的防水膜在压力的作用下发生形变,而导致影响防水MEMS麦克风性能的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112492488 B
(45)授权公告日 2022.06.24
(21)申请号 202011436431.4 H04R 1/44 (2006.01)
(22)申请日 2020.12.
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