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薄膜物理总结.docx

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    - - 1 - 一?薄膜制备的真空技术根底： 薄膜制备方法忡忙厅去负誉狀法溅射法 离子镀方法 上八卡方疙；电级门法化学气相生长法 1, 气体分子的平均自由程： 气体分子在两次碰撞的间隔时间里走过的平均距离。 1 d —气体分子的有效截面直 n 二2 d 2, 单位面积上气体分子的 通量：气体分子对于单位面积外表的碰撞频率。 什巴=U 4 41^MRT ------ 克努森方栈 3, 流导：真空管路中气体的通过力量。 c =—-— pl - p2 pL p2 —管路两端的气压 Q —单位时间內通过管路妁气体流量 〔单位时间内流过的气体体积与压力的乘积〕 分子流气体：流导 C 与压力无关，受管路

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