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一种晶圆研磨设备.pdfVIP

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  • 2023-06-01 发布于四川
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一种晶圆研磨设备.pdf

    本发明公开了一种晶圆研磨设备，包括研磨台，在研磨台上内凹开设有收纳区，在收纳区内中心处安装有加工盘，并在加工盘上内凹开设有研磨槽，所述研磨台内隐藏安装有回收部件，在研磨台上方安装有研磨单元，并在研磨单元与收纳区之间安装有调整部件。本发明在回收部件的配合下，能够对研磨过程中产生的研磨液进行集中回收，保证了研磨台上的洁净，避免了研磨液在研磨台上堆积无法清理的不足，同时在调整部件的配合下，能够对研磨盘下移的位置进行动态定位，可适配不同厚度的晶圆进行加工调节，保证了研磨盘下移量的稳定，避免研磨盘下移不到

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116175304 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202310345535.1 B24B 55/00 (2006.01)

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