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全自动老化测试上下料系统及方法.pdfVIP

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本发明公开了一种全自动老化测试上下料系统,包括机架,还包括芯片上下料机构,用于料盘与中转治具之间的芯片往返运送;中转治具,用于临时放置待测芯片和测试完成的芯片;芯片调整运送模组,用于调整芯片之间的间距,并将待测芯片由中转治具运送至中转站,以及将测试完成的芯片由中转站运送至中转治具;中转站,并且用于中转站与升降上下料平台之间老化板的运送;升降上下料平台,用于将装载有待测芯片的老化板运送至多层推车,或从多层推车将装载有测试完成的芯片的老化板运送至中转站;多层推车,在地面移动,用于中转站与老化测试机之

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112520413 B (45)授权公告日 2022.04.22 (21)申请号 202011463750.4 (56)对比文件

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