涂布装置、高度检测方法以及涂布方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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涂布装置、高度检测方法以及涂布方法.pdf

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提供一种涂布装置、高度检测方法以及涂布方法，对基板施加浮力来在水平方向上运送基板并向基板供给处理液，高精度地检测与喷嘴的相向位置上的基板上表面的高度。涂布装置具有：运送部，从下方对基板施加浮力并在水平方向上运送基板；喷嘴，被定位在与被运送的基板的上表面相向的涂布位置并向基板喷出处理液；高度检测部，在基板的运送方向上，检测喷嘴的上游侧或下游侧的检测位置上的基板的上表面的高度；计算部，基于规定的换算特性，根据在检测位置检测到的高度，计算与位于涂布位置的喷嘴相向的相向位置上的基板的上表面的高度。换算特

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112517321 B (45)授权公告日 2022.05.10 (21)申请号 202010854635.3 (51)Int.Cl.