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本发明公开一种高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂,具有通式(A)所示结构。该产酸剂对波长300‑450nm特别是365nm(I线)和405nm(H线)的活性能量射线具有高灵敏度,溶解性好且产酸性强的光产酸剂。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112552280 A
(43)申请公布日
2021.03.26
(21)申请号 20191
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