一种用于在线清理单晶炉内杂质底料的方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种用于在线清理单晶炉内杂质底料的方法，该方法采用吸杂罐在单晶炉不停炉的状态下对单晶炉内杂质底料进行吸取，具体操作为：在单晶炉拉棒后，保持单晶炉不停炉，先将吸杂罐抽成负压状态，然后将吸杂罐的吸杂管伸入单晶炉，利用压力差将单晶炉内杂质底料吸入吸杂罐内，接着，将吸杂罐从单晶炉内取出，即可。该方法设计合理、易于操作，不需要单晶炉停炉，即可将单晶炉内拉棒后剩余的高杂质含量的埚底料吸出，既增加了单晶炉的单次拉棒量，又降低了多次拉棒晶棒间的质量差异性，大大提高了单晶炉的生产效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112538653 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 202011421650.5 (22)申请日 2020.12.08 (71)申请人江苏神汇新材料科技有限公司

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