一种系统级集成电路制造用烘烤装置及其使用方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种系统级集成电路制造用烘烤装置及其使用方法.pdf

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本发明公开了一种系统级集成电路制造用烘烤装置及其使用方法，包括烘烤箱本体，烘烤箱本体的顶部固定安装有干燥机构；本方案，能够通过压板、滑动杆、伸缩柱、移动块构成的下压机构将摆放好的集成电路板进行下压，避免集成电路板倾倒的状况，提高了集成电路板的稳定性，同时通过干燥机构能够将烘烤时，从集成电路板上蒸发出来的水分抽入至干燥机构的内腔，通过无水氯化钙干燥棉填充块将水分干燥后，再送入烘烤箱本体的内腔，完成干燥，避免了烘烤后的水分积蓄在箱体内腔的状况，通过冷却机构，可以吸入外界环境中的冷空气，对冷空气进行过

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112543555 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 202011410684.4 (22)申请日 2020.12.04 (71)申请人王唐浩地址 422

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