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课题在于，在基板的干燥处理中切实地防止图案崩塌。解决方案是一种基板处理方法，其将表面形成有凹凸图案的基板上的液体去除而使基板干燥，其具备如下工序：在所述基板的凹部内形成成为下层的固体状态的第一材料、和成为上层的固体状态的第二材料的工序；使第二材料升华、分解、气体反应而去除第二材料的工序；之后，使第一材料分解、气体反应而去除第一材料的工序。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112567501 A
(43)申请公布日 2021.03.26
(21)申请号 201980053508.9 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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