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本发明公开了一种基于温度补偿的射频功率源低电平闭环幅度控制系统，包括温度传感器、第一ADC解调模块、第二ADC解调模块、调制DAC模块和FPGA芯片，FPGA芯片上设有温度变化检测模块、第一幅度相位分离模块、第二幅度相位分离模块、功率变化率计算模块、硬件乘法器、幅度误差计算模块、增量PID控制器、幅度求和模块和坐标转换模块。本发明具有温度自动补偿功能，在没有恒温箱辅助情况下仍能获得很高的闭环功率稳定性，不仅提高了对环境的适应能力，还降低了成本。此外，该系统采用FPGA硬件平台的全数字处理，提高了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112564695 A
(43)申请公布日 2021.03.26
(21)申请号 202011432993.1
(22)申请日 2020.12.10
(71)申请人 北京北广科技股份有限公司
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