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半导体装置包含基底,多个半导体线设置于基底上方,栅极结构围绕多个半导体线的每一个,以及外延源极/漏极部件接触多个半导体线,空气间隙水平围绕外延源极/漏极部件的一部分。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112563264 A
(43)申请公布日
2021.03.26
(21)申请号 20201
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