一种基于核-壳纳米柱阵列的深紫外探测器及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种基于核-壳纳米柱阵列的深紫外探测器及其制备方法.pdf

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本发明提供了一种基于核‑壳纳米柱阵列的深紫外探测器及其制备方法。其中基于核‑壳纳米柱阵列的深紫外探测器包括衬底和位于衬底之上的氮化镓层，氮化镓层的上半部分形成氮化镓纳米柱阵列，氮化镓纳米柱阵列与包覆其上表面外的氧化镓构成核‑壳纳米柱阵列异质结；金属电极分别设在氮化镓层和氧化镓层表面的电极区域上，并形成肖特基接触。通过核‑壳异质结的形成可有效降低深紫外探测器的暗电流，提高器件的响应度，改善基于半导体异质结的光电探测器件性能。本发明提供的一种基于核‑壳纳米柱阵列的深紫外探测器，其结构简单，制备容易，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112531070 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202011337981.0 B82Y 40/00 (2011.01) (22)申请日 2