用于固体和液体前体的蒸汽输送方法和装置.pdfVIP

用于固体和液体前体的蒸汽输送方法和装置.pdf

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本发明涉及用于固体和液体前体的蒸汽输送方法和装置。提供汽化器系统，其使得能够快速改变汽化的反应物的流速，同时使得汽化的反应物和载气的总流速保持恒定。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112542401 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 202011277527.0 (51)Int.Cl.

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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