一种基于等离子气相沉积的金刚石薄膜及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种基于等离子气相沉积的金刚石薄膜及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种基于等离子气相沉积的金刚石薄膜及其制备方法。金刚石薄膜的制备方法包括以下步骤；1、取以下各重量份原料；纳米金刚石微粉75‑80份、丙烯酸甲酯12‑15份、分散剂12‑15份、硬脂酸钠1‑3份经过分步处理，得到纳米金刚石混合液；2、采用化学镀，制得镍‑氮化硅基底，再对镍‑氮化硅基底进行海藻酸钠改性；3、上述处理得到的基底置于纳米金刚石混合液中，超声震荡，吸附、烘干；4、将上述得到的基底，置于微波等离子沉积设备中，进行氢化处理，最终得到金刚石薄膜。本方法制备的金刚石薄膜与基底的附着力

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112553590 B (45)授权公告日 2021.07.06 (21)申请号 202011403657.4 C23C 16/511 (2006.01)

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