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本发明提供能够对多重地包围容器的多个加热器以加热器彼此不接触的方式进行支承并有效地加热容器内的蒸镀材料的蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法。所述蒸发源装置具备：收容蒸镀材料的容器；配置在所述容器的周围且呈螺旋状地设置有加热线的第一加热器；以及配置在所述第一加热器的外侧且呈螺旋状地设置有加热线的第二加热器，所述蒸发源装置的特征在于，具备配置在所述第一加热器与所述第二加热器之间且对所述第一加热器和第二加热器的任一方的加热线进行支承的第一支承构件。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112575295 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202011023409.7 (56)对比文件
(22)申请日 2020.09.25
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