湿度传感器.pdfVIP

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  • 2023-06-02 发布于四川
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在所描述的示例中,一种装置(400)包括:至少一个电极(302),其具有在衬底的第一表面上的基部并且远离基部延伸至端部;对置电极(425),其与至少一个电极的端部间隔开并且具有面向端部的第一导电表面;以及具有腔体(322)的封装件(437),该腔体(322)容纳至少一个电极、衬底和对置电极,该封装件具有配置为允许大气进入腔体的至少一个开口。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116194764 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202180063417.0 (74)专利代理机构 北京纪凯知识产权代理有限

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