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本发明提供了一种压电式麦克风,包括具有背腔的基底,以及固定在所述基底上方的压电悬臂梁振膜;压电悬臂梁振膜至少包括第一子振膜和第二子振膜,每一子振膜一端与基底固定形成固定端,另一端悬置于背腔上方形成与固定端连接的活动端,活动端的宽度不小于固定端的宽度,压电式麦克风还包括弹性伸缩件,弹性伸缩件一端连接着第一子振膜的活动端,另一端连接着第二子振膜和/或基底上。本发明的悬臂梁活动端的宽度不小于固定端的宽度,在声压作用下将产生更大力矩,从而提高麦克风信噪比。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112584289 B
(45)授权公告日 2022.03.08
(21)申请号 202011377659.0 (51)Int.Cl.
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