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本发明涉及建立WAT程式的方法,包括S1:向软件中导入每个曝光单元的信息,以生成每个曝光单元的可视化信息;S2:预先设置器件参数模块,其中器件参数模块包括器件类型母模块和器件类型母模块下的器件参数子模块,并其中的器件参数子模块的个数和参数类型可自行选择;S3:选择曝光单元内的器件的管脚,在器件的管脚内导入预设的器件参数模块;以及S4:一键自动生成所需要的TST文件,而降低工作量,减少复杂的流程,快速建立起测试文档。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112579375 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 202011484933.4
(22)申请日 2020.12.16
(71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司
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