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- 2023-06-02 发布于四川
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本公开的实施例涉及防水按钮设备、包括按钮设备的输入设备以及电子装置。一种按钮设备,包括MEMS传感器,MEMS传感器具有MEMS应变检测结构以及可变形基板,可变形基板被配置为在外力的作用下经历变形。MEMS应变检测结构包括移动元件,该移动元件经由至少第一锚固件和第二锚固件由可变形基板承载,第一锚固件和第二锚固件相对于可变形基板固定,并且第一锚固件和第二锚固件被配置为在存在外力的情况下在移动部件上位移并且生成变形力;以及定子元件,电容耦合到移动元件。移动元件的变形导致在移动元件与定子元件之间的电容
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112573475 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 202011053565.8
(22)申请日 2020.09.29
(30)优先权数据
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