具有受控超调的高速高带宽垂直腔面发射激光器.pdfVIP

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2023-06-02 发布于四川
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具有受控超调的高速高带宽垂直腔面发射激光器.pdf

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提供了一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)。VCSEL包括设置在基板上的台面结构。所述台面结构包括第一反射器、第二反射器，以及设置在所述第一反射器和第二反射器之间的有源腔材料结构。所述第二反射器具有从所述第二反射器的第二表面延伸至所述第二反射器预定深度的开口。蚀刻到所述第二反射器中至所述预定深度减少了光子寿命和VCSEL的阈值增益，同时增加了调制带宽并保持了所述第二反射器的高反射率。因此，将所述第二反射器蚀刻至所述预定深度可以改善所述VCSEL的超调控制、更宽的调制带宽和更快的脉冲，使得所述VC

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112600073 A (43)申请公布日 2021.04.02 (21)申请号 202011050268.8 (22)申请日 2020.09.29 (30)优先权数据 16/589,53