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本发明提供一种能够在支承基板设置有空洞部的情况下提高散热性的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(1)具备：支承基板(2)，具有空洞部(10)和支承部(12)；压电膜(铌酸锂膜(3))，设置在支承部(12)上，且具有第1主面(3a)、第2主面(3b)；功能电极(4)，设置在第1主面(3a)；以及散热膜(5)，设置在压电膜的第1主面(3a)、第2主面(3b)中的至少一者，包含半导体或绝缘体。功能电极(4)具有至少一对第1电极(6)、第2电极(7)。在将压电膜的厚度设为dx并将相邻的第1电极(6)、第
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116195187 A
(43)申请公布日 2023.05.30
(21)申请号 202180061225.6 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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