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本发明公开了一种单晶金刚石衬底光学常数测量方法，包括：采用透射式椭偏测量方式和反射式椭偏测量方式分别测量单晶金刚石衬底；通过上述测量分别获得透射光谱(ψt、Δt)和反射光谱(ψr、Δr)；依据上述测量获得光谱数据，采用Cauchy模型分别计算以获衬底光学常数，该光学常数至少包括衬底折射率n和消光系数k；评估拟合误差σ，当拟合误差超过预定条件，则优化光学模型或介电函数；比对优化后模型的拟合误差，选择一模型及测量方式以确定金刚石衬底的光学常数。它具有如下优点：光学常数测量更精准。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112595673 A
(43)申请公布日 2021.04.02
(21)申请号 202011296318.0
(22)申请日 2020.11.18
(71)申请人 华侨大学
地址 36
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