基板处理装置及基板处理方法.pdfVIP

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2023-06-02 发布于四川
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基板处理装置及基板处理方法.pdf

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本发明提供一种基板处理装置。处理基板的装置可包括：腔室，所述腔室具有内部空间；基座，所述腔室在所述内部空间中支撑基板；及边缘夹具，所述边缘夹具抑制被所述基座支撑的基板的弯曲；且所述边缘夹具包括：环状的主体；多个凸起，所述多个凸起从所述主体向其内侧延长，沿所述主体的圆周方向相互隔开地提供，从上部观察时，与被所述基座支撑的基板的边缘上部重叠地提供。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112599469 A (43)申请公布日 2021.04.02 (21)申请号 202011040510.3 (22)申请日 2020.09.28 (30)优先权数据 10-2019-0