原创力文档- 1、本文档共10页，其中可免费阅读9页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种设有镂空部的压电能量采集器及其制备方法，方法包括：S1：获取硅基板，对该硅基板进行清洗以及干燥处理；S2：获取PZT压电层，分别在步骤S1获取的硅基板上侧和PZT压电层的下侧镀接金属层；S3：将硅基板和PZT压电层的金属层共晶键合；S4：对PZT压电层的上侧进行研磨减薄至预设的厚度范围；S5：在硅基板的下表面进行刻蚀得到凹槽；S6：采用KrF准分子激光器在凹槽区域进行镂空处理，形成镂空部，得到最终的压电能量采集器。与现有技术相比，本发明具有工艺步骤少、加工过程简单、固有频率低、功率
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112564546 A
(43)申请公布日 2021.03.26
(21)申请号 202011530916.X
(22)申请日 2020.12.22
(71)申请人 上海应用技术大学
地址
文档评论（0）