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一种化学气相沉积设备及其气体混合装置.pdfVIP

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  • 2023-06-02 发布于四川
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一种化学气相沉积设备及其气体混合装置.pdf

    一种化学气相沉积设备及其气体混合装置，化学气相沉积设备包含反应腔和位于反应腔内部上方的气体喷淋头，位于气体喷淋头上方的气体混合装置包含：具有主气体通道和第二气体通道的主体结构，以及设置在主气体通道内的气流塞。主气体通道的进气端连接至第一反应气体源，出气端朝向气体喷淋头，第二气体通道的进气端连接至第二反应气体源，出气端连接至所述主气体通道。气流塞具有柱状的弹身部，弹身部包括第一端和第二端，第一端朝向主气体通道进气端，第二端朝向主气体通道出气端，第二端包括一呈锥状结构的气体导流部。本发明能够实现较高

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115786881 A (43)申请公布日 2023.03.14 (21)申请号 202111435929.3 (22)申请日 2021.11.29 (66)本国优先权数据

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