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一种制作半导体器件的方法,包括以下步骤:于半导体衬底中的第一区域形成第一掺杂区;注入催化离子于所述第一掺杂区内,以形成第二掺杂区;在所述催化离子的作用下,形成层叠于所述第二掺杂区上的第一栅极氧化层;形成层叠于所述第一栅极氧化层上的第一栅极电极;及形成第一源极掺杂区以及第一漏极掺杂区于所述第一掺杂区中所述第一栅极氧化层的两侧。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112582272 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 202011456995.4 H01L 29/94 (2006.01)
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