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一种二维材料转移方法及智能转移系统.pdfVIP

一种二维材料转移方法及智能转移系统.pdf

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    本发明提出一种二维材料转移方法及智能转移系统，以解决现有大面积二维材料转移过程中存在转移效率低、转移精度不高以及二维材料剥离不均匀的技术问题。本发明方法为：在载玻片下表面涂布粘性随温度反向变化的材料，粘取待转移二维材料；然后将待转移二维材料与二维材料受体准确定位；最后将载玻片放置在二维材料受体表面，加热载玻片将待转移二维材料转移到二维材料受体上。本发明系统包括底座、二维材料转移台、二维材料放置台以及光学成像单元，其中，二维材料转移台包括三维机械臂、涂有PDMS的载玻片、微位移台、二维材料受体放置

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112578669 B (45)授权公告日 2022.04.05 (21)申请号 202011363291.2 (56)对比文件

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