使用甲基化处理选择性沉积.pdfVIP

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2023-06-02 发布于四川
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使用甲基化处理选择性沉积.pdf

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提供了在工件上选择性沉积材料的工艺。在一个实例中，方法包括在处理腔室中放置工件支撑件。工件具有第一材料和第二材料。第二材料不同于第一材料。方法包括在工件上进行基于有机自由基的表面处理工艺以相对于第二材料选择性修饰第一材料的吸附特征，使得第一材料具有第一吸附特征和第二材料具有第二吸附特征。第二吸附特征与第一吸附特征不同。方法包括在工件上进行沉积工艺使得相对于第一材料，材料选择性沉积在第二材料上。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112601836 A (43)申请公布日 2021.04.02 (21)申请号 202080004244.0 (74)专利代理机构北京市铸成律师事务所