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本发明的例示性的实施方式的温度调节方法包括：第1步骤，其调节载置被处理体的载置台的温度，载置台被划分为多个区域，具有多个温度检测器，多个区域沿载置台的载置面设定，多个温度检测器的每个温度检测器分别配置在多个区域的每个区域，载置台具有进行利用致冷剂的热交换的多个热交换室，致冷剂通过冷却装置进行循环，多个热交换室的每个热交换室分别配置在多个区域的每个区域；第2步骤，其调节致冷剂的压力以使得载置台的温度达到第1温度范围；和第3步骤，其在第2步骤之后，单独地调节对多个热交换室的每个热交换室供给的致冷剂的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112602177 A
(43)申请公布日 2021.04.02
(21)申请号 201980055961.3 (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限
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