原创力文档- 1、本文档共29页，其中可免费阅读28页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供用于制备无定形硼硅酸锂化合物或掺杂的硼硅酸锂化合物的气相沉积方法，所述方法包括：提供所述化合物的每种组分元素的蒸气源，其中所述蒸气源至少包括锂源、氧源、硼源和硅源、以及任选的至少一种掺杂剂元素源；以低于约180℃的温度提供基底；输送所述锂、所述氧、所述硼和所述硅以及任选的所述掺杂剂元素的流，其中所述氧的流速为至少约8×10‑8m3/s；以及将来自所述蒸气源的组分元素共沉积到所述基底上，其中所述组分元素在所述基底上反应以形成所述无定形化合物。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112585294 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 201980054440.6 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
文档评论（0）