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本发明尽可能减少从导光板漏出至观察手段侧的泄漏光来减少泄漏光带来的噪声分量并提高去往工件的照射光的一致性、提高检查精度。本发明的光照射装置具备：导光板，其呈平板状；以及光源体，其将光从该导光板的侧周面导入至导光板内部，并且，在所述导光板的一板面上形成有多个凹部，入射到所述导光板的光在所述凹部处以扩散的方式发生反射，从该导光板的另一板面射出至外部，该光照射装置中，所述凹部的表面由平滑的凹曲面形成，在以与所述板面垂直而且穿过所述凹部中心的方式切割所述凹部得到的截面形状中，该凹部的开口缘处的切线与所述
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112585451 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 201980055311.9 (74)专利代理机构 上海华诚知识产权代理有限
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