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本发明属于化学气相沉积技术领域,具体公开了一种热丝法化学气相沉积设备,包括腔体、载具、加热组件及调压组件,其中,腔体至少设置有两个腔室,每个腔室均设置有进气口和出气口;载具包括竖直紧固于腔室内的升降台、以及设置于升降台的载盘,载盘设置有1~3排待镀膜的工件;加热组件包括加热丝,以及电极组件;电极组件与供电装置电连接;调压组件用于腔室压力调节及腔室中气体的输入输出。本发明能够有效提升工件镀膜效率及其灵活性,且镀膜一致性和均匀性好,同时还能够有效节省镀膜成本。此外,本发明还提供了一种采用上述热丝法化
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112553591 A
(43)申请公布日 2021.03.26
(21)申请号 202011528181.7
(22)申请日 2020.12.22
(71)申请人 广东鼎泰高科技术股份有限公司
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