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本申请涉及光栅技术领域,公开了实现光栅焦距检测的装置,包括:平行光源,被配置为将光线射入光栅,以经由光栅聚焦;光栅承载件,被配置为承载光栅;参考面,被配置为基于光线经由光栅聚焦而形成光照区域;测量装置,被配置为识别在参考面上形成的光照区域的光照区域尺寸。本申请的实现光栅焦距检测的装置,能够有效检测光栅焦距。本申请还公开了光栅焦距检测仪。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112577718 A
(43)申请公布日
2021.03.30
(21)申请号 20191
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